HDS320系列擴散爐

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◆  設備用途      該設備是晶體硅太陽電池制造過程中不可或缺的關鍵設備之一，主要用于晶體硅太陽電池制造中硅片的擴散摻雜與氧化工藝。◆  產品亮點1、唯一能適應高阻高效和變濃度擴散工藝的國產設備 2、領先國內同行的實際擴散均勻性3、擴散綜合使用成本較第三代設備降低20%以上4、單位綜合能耗下降20%以上5、設備有效工作時間較第三代國產設備高5%以上6、適用于P型電池、N型電池、退火和低壓擴散工藝◆  主要技術參數 

序號	指 標 項 目	指  標  值
1	工藝方式	軟著陸閉管
2	反應管有效內徑	ø320mm，適用于 □125mm，□156mm
3	爐管數	1管、2管、3管、4管、5管
4	生產能力	≥1000片/批/管
5	加熱溫度	RT～1250℃
6	工作溫度范圍	400～1100℃
7	溫度控制方式	5點控溫，內外雙模控制
8	恒溫區長度及精度	≤±0.5℃/1100mm（800~1100℃），≤±1℃/1100mm（400~800℃）
9	溫度穩定性	≤±0.5℃/4h（880℃）
10	溫度斜變能力	a．最大可控升溫速率： 20℃/min.b．最大降溫速率：  8℃/min.c．RT→工藝溫度    ≤50min.
11	具有自動斜率升溫及快速恒溫功能
12	降溫方式	立體水冷+風冷
13	凈化裝載臺凈化方式與凈化級別	垂直層流，1000級(10000級廠房)，或100級（1000級廠房）
14	送舟方式	采用SiC懸臂槳自動水平送片，舟速20～1000mm/min連續可調；定位精度≤±1mm；最大承載重量為18kg
15	尾氣處理方式	尾部集中收集，冷凝氣液分離后定向排放
16	氣體控制與輸送方式	MFC精確控制流量，高潔凈內拋光不銹鋼管與PFA管輸送，氣動隔膜閥通斷，全進口件氣體控制與輸送系統
17	壓力控制方式	閉環全自動
18	爐口環境隔離方式	氣簾掃吹技術
19	工藝過程控制	全自動，PLC+工控機，觸摸屏操作
20	工藝管理功能	每管可存儲超過200條工藝曲線，每條曲線不少于30個拐點
21	報警保護功能	全面的超溫、斷偶、短路、停水、停氣、誤操作等報警連鎖保護
22	設備總功率	峰值功率50KW/每管；保溫功率約15KW/每管
23	設備外形尺寸	6470×1875×3275（L×W×H，mm，4管）6870×2025×3000（L×W×H，mm，5管）