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◆ 設備用途 該設備是晶體硅太陽電池制造過程中不可或缺的關鍵設備之一，主要用于晶體硅太陽電池制造中硅片的擴散摻雜與氧化工藝。◆ 產品亮點1、唯一能適應高阻高效和變濃度擴散工藝的國產設備 2、領先國內同行的實際擴散均勻性3、擴散綜合使用成本較第三代設備降低20%以上4、單位綜合能耗下降20%以上5、設備有效工作時間較第三代國產設備高5%以上6、適用于P型電池、N型電池、退火和低壓擴散工藝◆ 主要技術參數
| 序號 | 指 標 項 目 | 指 標 值 |
| 1 | 工藝方式 | 軟著陸閉管 |
| 2 | 反應管有效內徑 | ø320mm，適用于 □125mm，□156mm |
| 3 | 爐管數 | 1管、2管、3管、4管、5管 |
| 4 | 生產能力 | ≥1000片/批/管 |
| 5 | 加熱溫度 | RT～1250℃ |
| 6 | 工作溫度范圍 | 400～1100℃ |
| 7 | 溫度控制方式 | 5點控溫，內外雙模控制 |
| 8 | 恒溫區長度及精度 | ≤±0.5℃/1100mm（800~1100℃），≤±1℃/1100mm（400~800℃） |
| 9 | 溫度穩定性 | ≤±0.5℃/4h（880℃） |
| 10 | 溫度斜變能力 | a．最大可控升溫速率： 20℃/min.b．最大降溫速率： 8℃/min.c．RT→工藝溫度 ≤50min. |
| 11 | 具有自動斜率升溫及快速恒溫功能 | |
| 12 | 降溫方式 | 立體水冷+風冷 |
| 13 | 凈化裝載臺凈化方式與凈化級別 | 垂直層流，1000級(10000級廠房)，或100級（1000級廠房） |
| 14 | 送舟方式 | 采用SiC懸臂槳自動水平送片，舟速20～1000mm/min連續可調；定位精度≤±1mm；最大承載重量為18kg |
| 15 | 尾氣處理方式 | 尾部集中收集，冷凝氣液分離后定向排放 |
| 16 | 氣體控制與輸送方式 | MFC精確控制流量，高潔凈內拋光不銹鋼管與PFA管輸送，氣動隔膜閥通斷，全進口件氣體控制與輸送系統 |
| 17 | 壓力控制方式 | 閉環全自動 |
| 18 | 爐口環境隔離方式 | 氣簾掃吹技術 |
| 19 | 工藝過程控制 | 全自動，PLC+工控機，觸摸屏操作 |
| 20 | 工藝管理功能 | 每管可存儲超過200條工藝曲線，每條曲線不少于30個拐點 |
| 21 | 報警保護功能 | 全面的超溫、斷偶、短路、停水、停氣、誤操作等報警連鎖保護 |
| 22 | 設備總功率 | 峰值功率50KW/每管；保溫功率約15KW/每管 |
| 23 | 設備外形尺寸 | 6470×1875×3275（L×W×H，mm，4管）6870×2025×3000（L×W×H，mm，5管） |
