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      HPE400系列PECVD
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      • 發(fā)布時間:2016-07-09 08:25

      產(chǎn)地:廣東 深圳市 | 歸屬行業(yè):光伏生產(chǎn)設備

      有效期至:長期有效

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      聯(lián)系地址:深圳市南山區(qū)科技園北環(huán)大道9018號大族創(chuàng)新大廈A座2樓

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      深圳豐盛裝備股份有限公司

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      • 所在地:廣東 深圳市

       

      ◆  設備用途等離子體增強化學氣相淀積(簡稱PECVD),主要用途是在硅片表面淀積一層減反射氮化硅膜(SixNy),同時利用在淀積過程中產(chǎn)生的活性H+離子,對硅片表面和內(nèi)部進行鈍化處理。在體現(xiàn)減少光反射的同時,也提高了硅片的少子壽命,最終直接體現(xiàn)在晶體硅電池的轉(zhuǎn)換效率。該設備為國內(nèi)唯一的第四代PECVD設備,綜合性能媲美國際一流產(chǎn)品,其超越同行的實際成膜均勻性,大大減少了上代設備的色差現(xiàn)象,尤其適用于多晶電池片的工藝生產(chǎn)。◆  產(chǎn)品亮點1、單管產(chǎn)能全球率先達到280片(125方片)2、業(yè)內(nèi)獨有、領先的壓控/溫控技術(shù),最成熟的工藝支持3、國產(chǎn)設備中唯一可媲美世界一流設備的成膜均勻性和表面色差4、設備有效工作時間較其他國產(chǎn)設備高5%以上5、自動上下舟系統(tǒng)中國內(nèi)唯一采用進口精密直線單元<!--[if !supportLists]-->◆      <!--[endif]-->主要技術(shù)參數(shù)
      序號指 標 項 目指  標  值
      1成膜種類氮化硅
      2裝片尺寸□125mm,□156mm
      3裝片量352片/批(□125mm),308片/批(□156mm) 
      4送舟方式軟著陸
      5膜厚均勻性片內(nèi)≤±4% 片間≤±4% 批間≤±3%(膜厚目標值75nm)
      6折射率2.0~2.1
      7工作溫度范圍100~500℃
      8控溫段數(shù)5段
      9升溫方式自動斜率升溫及快速恒溫功能
      10恒溫區(qū)精度及長度±2℃/1200mm(500℃)
      11單點溫度穩(wěn)定度<±1℃/4h(500℃)
      12升溫時間RT→450℃≤45min
      13溫度控制雙??刂?/td>
      14系統(tǒng)極限真空度<1Pa
      15工藝壓力范圍80 Pa~320Pa
      16恢復真空時間AP→10 Pa<5min
      17系統(tǒng)漏氣率停泵關閥后壓力升率<0.5Pa /min.
      18壓力控制方式快速調(diào)整全自動閉環(huán)
      19爐門密封方式柔性自適應密封
      20工藝控制方式工藝過程全自動控制,多重安全連鎖報警
      21人機交互界面LCD顯示、觸摸操作、工藝編輯、在線監(jiān)控、權(quán)限管理、班組管理、組網(wǎng)功能
      22送料方式自動上下舟 
      23外形尺寸6650×2040×3580(L×W×H,mm,四管) 


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