多晶硅小方錠

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電阻率

Resistivity（ρ）

1.0 -3.0Ω·cm  總體不均勻性＜15%

少子壽命

Minority Carrier Lifetime

≥2μs（硅錠）

碳含量

Carbon Content(oi)

≤8*1017 at/cm3

氧含量

Oxygen Content(c)

≤1.0*1018 at/cm3

硅片尺寸

Size

邊長：156±0.3mm   對角線：219.2±0.3mm

倒角線角度

Bebel Edge Angle

45°± 5°

倒角線寬度

Bebel Edge Width

0.9-1.6mm，對角線方向沒個角與模版相差+/-0.3mm范圍內