熱解氮化硼加熱器

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產(chǎn)品特點(diǎn)       使用CVD法制造的高純度的產(chǎn)品。PBN和PG對(duì)腐蝕性氣體具有惰性，因?yàn)槭歉呒兌龋栽诟邷叵箩尫懦龅臍怏w很少，能很好的應(yīng)對(duì)熱沖擊，在特定情況下可以在1500℃以上的環(huán)境中使用。PG是進(jìn)行面加熱因而加熱快，PBN的熱傳導(dǎo)性很好，所以加熱面有很好的均熱特性。產(chǎn)品應(yīng)用       半導(dǎo)體材料制造設(shè)備中的加熱器，防止不純物的產(chǎn)生，以提高純度。