| ZL1200型多晶硅鑄錠爐技術(shù)指標 | |
| 硅錠尺寸 | 996mm×996mm×535mm |
| 生產(chǎn)率 | 1000kg~1200kg/爐 |
| 生產(chǎn)周期 | 1000kg錠~80hr,產(chǎn)能~11.5MW/年 |
| 最高溫度 | 1600℃ |
| 常用工作溫度 | 1560℃ |
| 硅錠生長速率 | 1.0-1.2cm/hr |
| 爐內(nèi)極限真空度 | 1Pa |
| 系統(tǒng)漏率 | <0.0075Pa. m3 /s |
| 氬氣 | ~160 m3 /錠 |
| 冷卻水 | 約140L/min |
| 控溫點數(shù)量 | 頂部、側(cè)面分區(qū)控溫(2個控溫點) |
| 額定加熱功率 | 200kW |
| 每爐加熱器功耗 | ~5000度(投料1000kg) |
| 長晶控制輔助 | 氣冷輔助成核裝置(選配) |
| 其他能耗 | ~800度 |
| 單位能耗 | ~5.8度/kg |
| 鑄錠良率 | 平均大于72%(正常配料) |
| 轉(zhuǎn)換效率 | 17.0%-17.2% |
| 準單晶生產(chǎn)能力 | 具備 |
| 高效多晶生產(chǎn)能力 | 具備 |
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