| ZL850型多晶硅鑄錠爐技術指標 | |
| 硅錠尺寸 | 996mm×996mm×370mm |
| 生產率 | 750kg~850kg/爐 |
| 生產周期 | 800kg錠~74hr,產能~9.5MW/年 |
| 最高溫度 | 1600℃ |
| 常用工作溫度 | 1560℃ |
| 硅錠生長速率 | 1.0-1.2cm/hr |
| 爐內極限真空度 | 1Pa |
| 系統漏率 | <0.0075Pa.m3/s |
| 氬氣 | ~140m3/錠 |
| 冷卻水 | 約140L/min |
| 額定加熱功率 | 165kW |
| 每爐加熱器功耗 | ~4400度(投料800kg) |
| 其他能耗 | ~650度 |
| 單位能耗 | ~6.8度/kg |
| 鑄錠良率 | 平均大于70%(正常配料) |
| 轉換效率 | 17.0%-17.2% |
| 準單晶生產能力 | 具備 |
| 高效多晶生產能力 | 具備 |
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