工藝流程：上料→去PSG→純水漂洗→酸處理→純水清洗→純水隔離→堿洗→超聲清洗→純水隔離→SC-2處理→純水清洗→HF處理→純水漂洗→預脫水→烘干→下料（全自動化流程控制）

技術(shù)特點：

●高均勻性：

 A、獨特酸處理主、副槽連體結(jié)構(gòu)使循環(huán)速度大大提高，冷卻時間更短，使槽內(nèi)藥液均勻性及溫度更加均勻，杜絕了藥液滲漏的可能性。

 B、獨特的三點溫控系統(tǒng)，保證槽內(nèi)的藥液的溫度，精度控制在±1℃。

●獨特的超聲波液位儀在線反映液面高度，保證配液精度；獨特的純水隔離系統(tǒng)，使不同藥液段完全隔離，提高了對硅片的加工質(zhì)量；獨特的四邊溢流槽體結(jié)構(gòu)，既保證了清洗效果又節(jié)約水；獨特的超聲脫氣裝置，在相同功率下清洗效果增加1倍；獨特的烘干系統(tǒng)，保證了烘干效果的同時也杜絕了設(shè)備著火的可能性；獨特的雙層槽體結(jié)構(gòu)，杜絕了藥液滲漏的可能性。

●穩(wěn)定的高速機械手，提升能力達到50KG，長時間運行平穩(wěn)無故障，保證產(chǎn)能提高及降低破片率。

●先進的逐級、多級溢流系統(tǒng)，既保證了清洗效果又節(jié)約水。

●精確的自動補液系統(tǒng)可以根據(jù)實際需要進行定量補液，達到 50ML的補液量僅誤差±1ML。

●全新的預脫水結(jié)構(gòu)將水蒸氣從硅片表面剝離，更好的保證烘干效果。

●全套的防壓籃系統(tǒng)保證長時間運行，避免壓籃事故。