槽式SE刻蝕設備

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工藝流程：上料→去PSG→純水漂洗→酸處理→純水清洗→純水隔離→堿洗→超聲清洗→純水隔離→SC-2處理→純水清洗→HF處理→純水漂洗→預脫水→烘干→下料（全自動化流程控制）

技術特點：

●高均勻性：

 A、獨特酸處理主、副槽連體結構使循環速度大大提高，冷卻時間更短，使槽內藥液均勻性及溫度更加均勻，杜絕了藥液滲漏的可能性。

 B、獨特的三點溫控系統，保證槽內的藥液的溫度，精度控制在±1℃。

●獨特的超聲波液位儀在線反映液面高度，保證配液精度；獨特的純水隔離系統，使不同藥液段完全隔離，提高了對硅片的加工質量；獨特的四邊溢流槽體結構，既保證了清洗效果又節約水；獨特的超聲脫氣裝置，在相同功率下清洗效果增加1倍；獨特的烘干系統，保證了烘干效果的同時也杜絕了設備著火的可能性；獨特的雙層槽體結構，杜絕了藥液滲漏的可能性。

●穩定的高速機械手，提升能力達到50KG，長時間運行平穩無故障，保證產能提高及降低破片率。

●先進的逐級、多級溢流系統，既保證了清洗效果又節約水。

●精確的自動補液系統可以根據實際需要進行定量補液，達到 50ML的補液量僅誤差±1ML。

●全新的預脫水結構將水蒸氣從硅片表面剝離，更好的保證烘干效果。

●全套的防壓籃系統保證長時間運行，避免壓籃事故。