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概述：
痕量級雜質氣體比如烴類、H2O、CO、CO2、NOx、N2、H2S等會對高純氦、高純氫、高純氮、其他高純氣體的生產帶來危害，長期存在會損壞生產設備和影響生產質量，甚至對使用高純氣體的裝備帶來致命威脅。杜克泰克公司的DKF10-MH型痕量級多組分氣體分析儀專門專業監測并分析ppm微量級、ppb超微量級雜質氣體。
原理：
DKF10-MH多氣體分析儀基于紅外光聲光譜技術，擁有脈沖紅外光源，通過窄帶光學濾波片，形成中紅外區10個光譜波段，用于氣體分析；超高靈敏度基于專利的擁有增強懸臂梁光學麥克風技術，可通過10種光學窄帶濾波片實現，極窄的光學濾波可去除背景氣體的干擾；多個光譜區域可有利于最小的交叉靈敏度。對采樣響應結果按照改進的經典最小二乘法進行數據校準。
光聲光譜技術可實現短光路光程的高靈敏度測量，更進一步提高了非線性補償技術，可實現寬量程可達5級的線性動態量程比。
可測氣體：
l 烴類：CH4、C2H6、C2H2、C2H4等
l 無機氣體： CO2、CO、N2O、SO2、NO、NO2, NH3、NF3、SF6、H2O等
l 揮發性有機物VOCs：丙酮、乙醇、甲醇、苯、 甲苯、二甲苯、甲醛等
l 氟利昂（CFCs）及 全氟化碳（PFCs）: CF4、 C2F6、R-134a、R13等
l 腐蝕性氣體：HF、HCL、HCN等
l 麻醉劑：異氟烷、七氟烷、地氟烷、安氟醚等；
l 其他氣體：N2、H2、O2、氯氣等（可選、擴展探頭）；
l 被測氣體可定制；
應用：
高純氣雜質氣體 泄漏檢測
過程質量控制 熏蒸氣體
工業安全和衛生 廢麻醉氣體
家禽養殖，生豬養殖 農業 溫室氣體
大氣污染物排放 發酵
其他痕量氣體分析
特性：
l 同時測量高達9種氣體
l ppb,sub-ppm級的檢測限
l 即采即測、實時分析、秒級響應時間
l 長的標定周期、低的樣氣量
l 高分辨率圖形顯示界面,友好人機交互界面
l 豐富的可編程測量任務
l 圖形和表格顯示全部氣體的測量結果
l 內置趨勢查看監控任務,
l 不需要外部的電腦
l 無耗材、免維護
l 4~20mA模擬量、RS232、RS485通訊
l 堅固耐用的外殼設計
優點：
l 帶有增強懸臂梁光學麥克風的紅外光聲光譜 技術
l 電子脈沖紅外光源
l 鍍金采樣氣室恒定溫度50°C
l 專利超靈敏的基于MEMS懸臂梁傳感器光學麥克風，耦合激光干涉測量懸臂梁微觀移動
l 19"3U工業機箱，適用于全部臺式或機架固定安裝
l 內置帶有5.7"前置顯示器的嵌入式計算機 可設置氣體報警閾值
l 數據存儲約2GB，連續存儲9種氣體可達1年
l 測量結果可以通過U盤，USB口，Ethernet網口，串口導出
l 后面板有四路氣體連接口，兩路為采樣接口， 配有粉塵顆粒物過濾器
l 自動補償溫度、壓力等變化工況的干擾
l 自動去除包括水汽、顆粒物等采樣氣體的干擾
