太陽能電池專用擴散爐主要技術(shù)數(shù)據(jù)
◆工作溫度： 300~1300℃
◆有效口徑 根據(jù)用戶擴散片確定，可訂制
◆恒溫區(qū)長度： 1080mm（可根據(jù)用戶要求定制）
◆溫區(qū)精度 (靜態(tài)閉管測試)：
800℃＜工作溫度＜1200℃： ±0.5℃
300℃≤工作溫度≤800℃： ±1℃
◆單點溫度穩(wěn)定性(靜態(tài)閉管測試)：
800℃＜工作溫度＜1200℃： ±0.5℃/24h
300℃≤工作溫度≤800℃： ±1℃/24h
◆溫度斜變能力：
最大可控升溫速度(300～1300℃)：15℃/min
最大降溫速度(1300～900℃)： 5℃/min
◆氣體流量設(shè)定精度： ±2％FS
◆氣路系統(tǒng)氣密性： 1×10-7pa.m3/s
◆自動送料裝置行程： ~2000mm
速度： 5~1000mm/min
SiC漿承重 19kg
◆裝片數(shù)量 400片/管
◆凈化臺潔凈度 100級（10000級廠房）
◆三相五線制 380V±10%，50Hz±10%Hz；
◆冷卻水： 2～4Kgf/cm2，～8L/min
太陽能電池擴散主要有開管擴散和閉管軟著陸擴散兩種形式
◆閉管磷擴散，帶有工藝廢氣冷卻定向回收裝置，偏磷酸、CL2分開收集處理；工藝廢氣集中收集從尾部定向排出；各種工藝氣體可分開送入石英管內(nèi)，工藝氣體(三氯氧磷)可采用噴淋式方式引入到石英管內(nèi)。閉管軟著陸擴散方式工藝過程完全不受外界環(huán)境干擾，工藝質(zhì)量完全受保護。
◆自動化程度：自動控制溫度及工藝過程。主控溫控模塊采用國外進口，可在達到±0.25℃的控制精度。
◆送取片方式：懸臂式推拉舟。采用側(cè)面布局的懸臂推拉結(jié)構(gòu)，可有效的防止偏磷酸下滴，造成推拉機構(gòu)受腐蝕，影響推拉機構(gòu)的精確性。