CZ-90A
CZ-90A晶體生長(zhǎng)設(shè)備主要用于拉制Φ8"-Φ10"大直徑、低氧碳單晶硅棒，熔料量100KG，該產(chǎn)品的外觀設(shè)計(jì)及電器控制均有自已獨(dú)特的創(chuàng)新，該產(chǎn)品采用了PLC自動(dòng)控制系統(tǒng)，自動(dòng)化運(yùn)行控制精度高，并保證了硅單晶生長(zhǎng)所需的穩(wěn)定、連續(xù)、高效的生長(zhǎng)環(huán)境，增加了功率因數(shù)補(bǔ)償，提高功率因數(shù)，降低損耗，達(dá)到節(jié)能的目的，并減少了電網(wǎng)污染，利用了先進(jìn)的磁性流體密封＋機(jī)械密封＋新型的盲道，解決了旋轉(zhuǎn)軸卡滯，提高了真空度。
CZ-80A
CZ-80A晶體生長(zhǎng)設(shè)備主要用于拉制Φ6"-Φ8"大直徑、低氧碳單晶硅棒，采用自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的18"熱系統(tǒng)，熔料量65KG，該產(chǎn)品的外觀設(shè)計(jì)及電器控制均有自已獨(dú)特的創(chuàng)新，該產(chǎn)品采用了PLC自動(dòng)控制系統(tǒng)，自動(dòng)化運(yùn)行控制精度高，并保證了硅單晶生長(zhǎng)所需的穩(wěn)定、連續(xù)、高效的生長(zhǎng)環(huán)境，增加了功率因數(shù)補(bǔ)償，提高功率因數(shù)，降低損耗，達(dá)到節(jié)能的目的，并減少了電網(wǎng)污染，利用了先進(jìn)的磁性流體密封＋機(jī)械密封＋新型的盲道，解決了旋轉(zhuǎn)軸卡滯，提高了真空度。