供應激光橢偏儀

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EM01-PV-III特點：

1.一體化樣品臺技術，兼容測量單晶和多晶太陽電池樣品
2.新型樣品調節技術，有效提高樣品定位精度高
3.獨特的噪聲處理方法，顯著增強信噪比
4.新型光電增強技術，顯著降低生產現場噪聲對結果的影響
5.增加現場供電檢測和調節功能，適應更加復雜的供電環境
6.多種測量模式選擇，適合對不同精度要求的場合
7.多線程軟件結構，提高用戶體驗

EM01-PV-III應用領域：
單晶、多晶及各種薄膜太陽能電池的折射率和膜厚測量領域，既適合科研院所研究使用，亦適合工廠進行工藝研究分析和產線上產品檢測以及EM01系列激光橢偏儀家族的傳統領域，包括半導體、集成電路、微電子、光學鍍膜、醫學與生命科學、電化學、平板顯示領域、磁介質存儲、聚合物、新材料、金屬處理等。
EM01-PV-III性能保證：
1.高穩定性的He-Ne激光光源、高精度的采樣方法以及低噪聲探測技術，保證了系統的高穩定性和高準確度；
2.高精度的光學自準直望遠系統，保證了快速、高精度的樣品方位對準；
3.穩定的結構設計、可靠的樣品方位對準，結合先進的采樣技術，保證了快速、穩定測量；
4.分立式的多入射角選擇，可應用于復雜樣品的折射率和絕對厚度的測量；
5.一體化集成式的儀器結構設計，使得系統操作簡單、整體穩定性提高，并節省空間；
6.專用軟件方便太陽能電池測試和建模。

EM01-PV-III技術指標：

激光波長
632.8nm (He-Ne laser)

膜層厚度精度
0.01nm (對于Si基底上110nm的SiO2膜層)

0.05nm (對于絨面Si基底上80nm的Si3N4膜層)

折射率精度
1x10-4 (對于Si基底上110nm的SiO2膜層)

5x10-4 (對于絨面Si基底上80nm的Si3N4膜層)

光學結構
PSCA

激光光束直徑
<1mm

入射角度
40°-90°可選，步進5°

樣品方位調整
三維平移調節：±12.5mm（X-Y-Z三軸）

二維俯仰調節：±4°

光學自準直系統對準

樣品臺尺寸
Φ170mm

單次測量時間
0.2s

推薦測量范圍
0-2000nm

最大外形尺寸(長x寬x高)
887 x 332 x 552mm (入射角為90º時)

儀器重量（凈重）
25Kg