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儀器簡(jiǎn)介：
質(zhì)量流量控制器（MFC）用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測(cè)量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器、制氣配氣等行業(yè)。
技術(shù)參數(shù)：
滿量程流量范圍（N2） | 5SCCM～30SLM | |
控制范圍 | 2～100％F.S. | |
閥類型（及閥初始狀態(tài)） | 電磁調(diào)節(jié)閥（常閉） | |
準(zhǔn)確度 | ≤10SLM | ±1％F.S. |
＞10SLM | ±2％F.S. | |
線性 | ≤10SLM | ±0.5～1％F.S. |
＞10SLM | ±2％F.S. | |
重復(fù)精度 | ±0.2％F.S. | |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤4sec | |
工作溫度范圍 | 5～ | |
| 工作壓差 | ≤10SLM | 0.2～0.8MPa |
| ＞10SLM | 0.2～0.6MPa | |
| 耐壓 | 10MPa | |
| 漏氣率 | 1×10-9SCCSHe | |
| 密封材料 | 氟橡膠、聚四氟乙烯、氯丁橡膠 | |
| 接頭選擇 | VCR | 1/4” |
| Swagelok | 1/4”、1/8”或φ3、φ6mm | |
| 電插頭形式 | DB15 pin(Male) | |
| 抗電磁干擾 | CE | |
| 重量 | | |
主要特點(diǎn)：
★高耐壓性
★橡膠密封、模擬電路的MFC
★采用DB15型電插頭，國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接頭
★CE認(rèn)證，國(guó)際兼容
