流量計

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MFC（流量計） FCS-P系列（壓力式流量計） 　　FCS即流量控制系統(tǒng)（Flow Control System），是專為確立近年來半導(dǎo)體制程中，越來越受重視的蝕刻速率（ETCH RATE）或成膜速率的穩(wěn)定性、再現(xiàn)性而開發(fā)出來的產(chǎn)品。基本操作原理有別于傳統(tǒng)的質(zhì)量流量計，這是一款經(jīng)由壓力控制，從而達到高精度流量控制目標的嶄新產(chǎn)品。FCS 能克服氣體供應(yīng)系統(tǒng)所產(chǎn)生的壓力變動或干擾等制程上不穩(wěn)定的因素，提供給客戶無限制且穩(wěn)定的流量控制。 產(chǎn)品特性 ●結(jié)構(gòu)簡單 FCS內(nèi)部結(jié)構(gòu)相當(dāng)簡單，且是個完全零死角的結(jié)構(gòu)。 ●卓越的壓力變動特性 上游壓力變動時，質(zhì)量流量控制器輸出值會呈現(xiàn)大幅度變化，但FCS則完全沒有任何變動。 ●采用流量參數(shù)（FLOW FACTOR） 采用流量參數(shù)，即可利用N2校正，是FCS對應(yīng)各種氣體。 ●卓越的精準度 全流量10%以上時，精準度在設(shè)定點的±1.0%以下，反之則為全流量的±0.1%以下，精準度相當(dāng)高。 ●搭載流量異常診斷功能 ●反應(yīng)靈敏 ●設(shè)置位置不受限（MOUNT POSITION FREE） ●對應(yīng)DEVICE NET 經(jīng)第三機構(gòu)測試單位ODVA的測試，完全通過ODVA測試軟體VerA-14的測試