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性能指標(biāo)
本系統(tǒng)能夠適應(yīng)多種規(guī)格單晶硅片檢測(cè)需求，能滿足以下性能指標(biāo)：
能夠檢測(cè)硅片各種缺陷，包括電阻率、厚度、TTV、P/N、線痕、幾何尺寸、臟污、孔洞、隱裂、BOW/WARP，具體檢測(cè)項(xiàng)目和測(cè)量誤差要求如表1所示；
檢測(cè)效率能達(dá)到3000片/小時(shí)；
能實(shí)現(xiàn)自動(dòng)上下料；
合格標(biāo)準(zhǔn)可設(shè)定，以適應(yīng)區(qū)分不同的質(zhì)量級(jí)別；
具備硅片分選功能：客戶可根據(jù)需求選擇分選工位的數(shù)量，各工位的分選標(biāo)準(zhǔn)可以自定義；
碎片率要求<0.1%；
可以進(jìn)行數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、統(tǒng)計(jì)、分析、查詢及圖表繪制等。配備網(wǎng)絡(luò)接口，可以進(jìn)行測(cè)量設(shè)備現(xiàn)場(chǎng)聯(lián)網(wǎng)統(tǒng)一控制管理。測(cè)量結(jié)果能夠打印輸出。
表 1 檢測(cè)項(xiàng)目和精度
序號(hào) | 不良類型 | 誤差 |
1 | 電阻率 | 5%（0.3-3ohm·cm） |
厚度 | ≤ 1.5μm | |
TTV | ≤ 3μm | |
P/N | 無誤判 | |
BOW/WARP | 根據(jù)厚度指標(biāo)計(jì)算 | |
2 | 邊長 | ±0.1mm |
對(duì)角線長 | ±0.1mm | |
弦長 | ±0.2mm | |
角度 | ±0.1° | |
3 | 孔洞（包含貫穿和非貫穿） | 可識(shí)別直徑大于0.15mm |
裂紋、隱裂 | 可識(shí)別寬度×長度：0.015mm×1mm | |
4 | 臟污（包含水痕、指紋、筆油、油污、水漬、蚊蟲、黑點(diǎn)、承載器痕、孿晶、亮線等多種） | 可識(shí)別長×寬：0.15mm×0.15mm |
