光伏薄膜系統         使用PVD或CVD 工藝沉積單層膜或多層膜，一般膜層厚度在μm級或更薄。膜層具有不同的物理和化學特性，例如：導電性、透明度、半導體特性、擴散率、抗磨力、抗化學性等。

薄膜硅太陽能電池      薄膜硅太陽能電池是基于非晶硅(a-Si)或微晶硅(μc-Si)。這種太陽能電池需要厚度達2 μm的半導體膜層（吸收層）。該膜層通常在較低的工藝溫度下大面積沉積而成，基材是低成本材料，主要是玻璃，也有金屬帶或聚合物薄膜。為了達到充足的吸收效果，膜層的厚度需要達到2 μm。透明導電層TCO（比如：SnO2:F, ZnO:Al）可用作前電極，也可以更多地和金屬膜層組成背電極薄膜體系。（比如：ZnO:Al/Al/NiV）。微晶薄膜太陽能電池      微晶薄膜太陽能電池在一個電池里既包含非晶硅，也包含微晶硅，它們屬于所謂的多結電池，兩個（疊層電池）或多個半導體膜層上下交替沉積。在微晶疊層電池中，非晶硅和微晶硅的吸收光譜相互補充，使得更廣范圍的太陽輻射光譜被轉化為能源產品，從而達到較高的太陽能電池的能效。CIS薄膜太陽能電池      CIS薄膜太陽能電池是基于由銅、銦、硒及硫-CuIn(Ga)(Se,S)形成一種化合物半導體。 由一個厚度達3 μm的p型導電CIS膜層與一個n型導電CdS緩沖層（50 nm）結合。通過在半導體中添加鎵來顯著提高CIS太陽能電池的能效（CIGS電池）。通過蒸發或濺射以及后續的硅烷化工藝可以生產出吸收層。由i- ZnO/ZnO:Al薄膜作為透明的前電極；鉬膜層通常作為背電極。玻璃是常用的基片材料，但也可以使用金屬帶和高分子薄膜作為基片。CdTe薄膜太陽能電池      CdTe薄膜太陽能電池由一個透明導電的前電極層、一個n型導電CdS薄膜層，一個p型CdTe吸收層以及一個金屬背電極組成。正如a-Si/µc-Si和CIGS薄膜電池那樣，首選的基片材料是玻璃。但是使用金屬帶和高分子膜作為基材也是可行的。