概述    
ST2263型雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測-改進形范德堡測量方法測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設(shè)計符合單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準。利用電流探針、電壓探針的變換，進行兩次電測量，對數(shù)據(jù)進行雙電測分析，自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響，它與單電測直線或方形四探針相比，大大提高精確度，特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。    

儀器成套組成：
由主機、選配的四探針探頭、測試臺以及PC軟件等部分組成。    
主機主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式單片機系統(tǒng)組成，USB通訊接口。儀器主機所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤和數(shù)碼開關(guān)輸入；具有零位、滿度自校功能；測試功能可自動/手動方式；儀器操作可由配套軟件在PC機上操作完成，也可脫PC機由四探針儀器面板上獨立操作完成。測試結(jié)果數(shù)據(jù)由主機數(shù)碼管直接顯示，也可連機由軟件界面同步顯示、分析、保存和打印！
    
探頭選配：根據(jù)不同材料特性需要，探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭，以測試硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻；也有球形鍍金銅合金探針探頭，可測柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜（ITO膜）或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。換上四端子測試夾具，還可對電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進行測量。    
測試臺選配：一般四探針法測試電阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型測試臺。         
詳見《四探針儀器、探頭和測試臺的特點與選型參考》點擊進入     儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、測量簡便、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點。     儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測試，特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。

三、基本技術(shù)參數(shù)
3.1  測量范圍   
電阻率：1×10-4～2×105 Ω-cm，分辨率：1×10-5～1×102 Ω-cm    方  阻：5×10-4～2×105 Ω/□，分辨率：5×10-5～1×102 Ω/□    電  阻：1×10-5～2×105 Ω   ，分辨率：1×10-6～1×102 Ω
3.2  材料尺寸(由選配測試臺決定和測試方式?jīng)Q定)   
直    徑：
SZT-A圓測試臺 直接測試方式 Φ15～130mm，手持方式不限   
SZT-B/C/F方測試臺直接測試方式180mm×180mm，手持方式不限.   
長(高)度：
測試臺直接測試方式 H≤100mm,  手持方式不限.   
測量方位: 軸向、徑向均可
3.3.  4-1/2 位數(shù)字電壓表：   
(1)量程： 20.00mV～2000mV    (2)誤差：±0.1%讀數(shù)±2 字
3.4  數(shù)控恒流源  
(1)量程：0.1μA，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA，1A  
(2)誤差：±0.1%讀數(shù)±2 字
3.5  四探針探頭（選配其一或加配全部）  
(1)碳化鎢探針：Φ0.5mm，直線探針間距1.0mm
   探針壓力: 0～2kg 可調(diào) 
(2)薄膜方阻探針：Φ0.7mm，直線或方形探針間距2.0mm，
   探針壓力: 0～0.6kg 可調(diào)
3.6 電源輸入: AC 220V±10% ,50Hz 
    功    耗：<20W
3.7 外形尺寸：主機  220mm（長）×245 mm（寬）×100mm（高）