manz的濕制程設備

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 Manz 為晶體硅太陽能電池的制造提供了創新開發的濕制程方案。第一步包括去磷硅玻璃以及刻蝕除邊等制造步驟。在這方面，Manz 集團利用了關注濕制程設備制造超過 20 年的亞智科技相關經驗和技術。亞智科技是印制電路板和平板顯示器制造濕制程設備領域的市場領先者（已經安裝了超過2,000臺設備），是電子和平板顯示器行業的市場領先者。

Manz創新的濕制程設備特點如下：

• 應用柔軟的海綿輥和最小化基板壓力概念，實現最低破片率
• 6 個水道配置實現了每小時 4,800 片硅片的高產量（硅片尺寸：156 × 156mm）
• 高度的工藝安全和穩定性
• 易操作的觸摸式圖形界面 (GUI)
• 與 Manz 高度集成的 SpeedPicker 系統兼容
• 優化總擁有成本
• 化學品消耗量更少

  隨著新的濕制程設備 IPSG CEI 4800的問世，Manz 提供更為完善的制程解決方案，用來去除硅片背面和邊緣的重摻雜層，從而形成化學除邊(CEI)。在接下來的處理步驟中，將去除硅片正面上剩余的磷硅酸鹽玻璃(PSG) 層，而該層是在先前的擴散過程中形成的。