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      MOCVD設備尾氣處理裝置的過濾器選型

        2022-11-09

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      Veeco K465i外延設備濾芯_MOCVD設備過濾器_高溫粉塵濾芯_玻纖濾芯   、產品具有過濾精度高、起始壓差小、流通能力大、納污容量大以及使用壽命長的特點。主要性能指標達到進口標準件水準,可直接替代同類進口產品。 

         律特霍爾可生產替代Veeco以及AIXTRON公司MOCVD設備K-465,K465i,E-300 機型的濾芯。 可根據客戶要求設計,訂做。(調整:尺寸,使用材料,整體構造等)為客戶產品打造合適的濾芯,確保各種過濾要求,達到標準的過濾效果。   

           替代Veeco  K465 K465i E300外延設備濾芯 產品說明: 該產品系我司針對Veeco K465i設備設計生產的濾芯,安裝于真空泵前,用于濾除混合氣體中的粉塵和顆粒; 2只/組(粗濾、細濾) 

       組成材料: 1、濾材: 耐高溫玻纖濾料 2、支撐材料:雙面304#不銹鋼金屬網 3、骨架:304#不銹鋼菱形網 4、密封墊圈:硅發泡橡膠墊片 5、密封膠:硅橡膠 過濾效率: 1、粗濾:100μm=90% 2、細濾:25μm=99.95% 3、透氣量:1000L/Sec/㎡ 

       產品特性: 1、采用兩級過濾工藝,分級過濾雜質、有效去除不同大小的顆粒雜質。 2、波紋工藝,有效過濾面積增加,容污能力強,使用周期長。 3、濾料采用玻纖濾料,具耐高溫、耐腐蝕,長期使用溫度可達250度以上。 4、專用的高精度過濾材料,空隙均勻,過濾精度高,有效保護設備。

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